Fabricación y preparación de muestras
Investigadores:
Juliano C. Denardin
Juan Escrig Murúa
Luis Eugenio Hamm Hahn
- Deposición de peliculas por Sputtering
- Deposición de capas atómicas ALD
- Preparación de muestras para SEM
- Preparación de muestras por Plasma
- Preparación de muestras Plasma Edge
- Sala Limpia de preparación: La Sala Limpia del Departamento de Física ofrece un espacio de trabajo conatmósfera controlada donde la concentración de partículas en suspensión está enun rango muy inferior al que se encuentra en condiciones normales (atmósferaabierta). Los contaminantes generados por personas, procesos, instalaciones yequipos son removidos continuamente del aire interior de la sala limpia gracias auna unidad manejadora de aire (UMA). La Sala Limpia cuenta con una esclusa,una sala de validación y un área limpia, donde se dan las mejores condiciones delimpieza (ver plano). La sala de validación es un espacio donde se preparan losmateriales y los implementos para que sean ingresados al área limpia a través deuna cámara con doble puerta que las conecta. La Sala Limpia cuenta con trespuestos para el trabajo simultáneo de tres investigadores. Posee, además, unacampana sin extractor, con filtro para gases tóxicos, una balanza analítica y unspin coater. La Sala Limpia cuenta, además, con un contador de partículas con elcual se monitorea de manera periódica la concentración de partículas ensuspensión.
- Recubrimiento por Spin Coater
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